①閥門的密封性能要好，不但閥板封閉處漏氣速率要小，而且閥體的漏氣率要小；
②閥門密封部件耐磨性要好，特別是閥座與閥板密封部件要能反復使用，壽命長；
③閥門的通導能力要大；
④閥門材料應具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學穩(wěn)定性；
⑤超高真空閥門應耐烘烤，烘烤溫度一般不低于150℃，450℃；
⑥閥門結構要簡單，造型美觀大方，開關輕便、靈活，開關狀態(tài)應有標識，大型閥門應有起吊裝置，操作方便，維修容易；
⑦閥門零部件加工工藝性要好，表面處理工藝，閥門連接法蘭應符合真空法蘭國家標準要求。